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    1. 咨詢熱線

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      當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  探針臺  >  MicroXact探針臺  >  SPS-HS系列MicroXact高速半自動化探針臺

      MicroXact高速半自動化探針臺

      簡要描述:隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜,有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn),特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進(jìn)行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù),以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要,但在晶片級可靠性測試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。
      系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型,通用的平臺上,能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。

      • 產(chǎn)品型號:SPS-HS系列
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時(shí)間:2025-07-01
      • 訪  問  量:1869

      詳細(xì)介紹

      電動XY夾頭,SPS-2600中的電動壓板,SPS 2800中卡盤的電動Z軸運(yùn)動,標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。

      基于伺服電機(jī)的直線光柵尺。

      成本競爭力,非??焖?,高效的解決方案

      強(qiáng)烈推薦用于中等規(guī)模生產(chǎn)或其他吞吐量很重要的應(yīng)用

      型號

      SPS-12000-HS

      SPS-2800-HS

      SPS-2600-HS

      晶圓尺寸

      高達(dá)300mm

      高達(dá)200mm

      高達(dá)100mm

      電機(jī)類型

      伺服電機(jī)

      顯微鏡

      高品質(zhì)立體聲變焦,工作距離可達(dá)200??mm,放大倍率范圍為3.5X180X

      饋通終端

      BNC,Triax或香蕉插頭

      系統(tǒng)尺寸

      101CMx91CMx 88CM

      122CMx122CMx 92CM

      78CMx80CMx 58CM

       

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