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      當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  探針臺  >  MicroXact探針臺  >  SPS-HP系列MicroXact高精度半自動化探針臺

      MicroXact高精度半自動化探針臺

      簡要描述:SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺,設(shè)計靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。

      • 產(chǎn)品型號:SPS-HP系列
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時間:2025-07-01
      • 訪  問  量:2462

      詳細(xì)介紹

      SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺,設(shè)計靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。
       

      高分辨率復(fù)合顯微鏡。

      偏光顯微鏡。

      廣泛的相機(jī)選擇。

      射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

      拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

      超*真空泵。

      溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

      適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

      可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

      高分辨率復(fù)合顯微鏡。

      偏光顯微鏡。

      廣泛的相機(jī)選擇。

      射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

      拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

      超*真空泵。

      溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

      適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

      可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。
       

      型號SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
      晶圓尺寸高達(dá)300mm高達(dá)200mm高達(dá)100mm
      電機(jī)類型步進(jìn)電機(jī)
      XY舞臺行程高達(dá)300mmx300mm高達(dá)200mmx200mm高達(dá)100mmx100mm
      饋通終端BNCTriax或香蕉插頭
      系統(tǒng)尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM

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