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      當(dāng)前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心  >  探針臺(tái)  >  MicroXact探針臺(tái)  >  SPS系列MicroXact標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)探針臺(tái)

      MicroXact標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)探針臺(tái)

      簡(jiǎn)要描述:MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇,包括加熱/冷卻晶圓卡盤,標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度,為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級(jí)可靠性測(cè)試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇(標(biāo)準(zhǔn),高精度和高速)。

      • 產(chǎn)品型號(hào):SPS系列
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時(shí)間:2025-07-01
      • 訪  問  量:2019

      詳細(xì)介紹

      XY平臺(tái)和壓板的精密電機(jī)控制。還可提供額外的預(yù)載滑塊,以便于裝載和卸載晶圓或樣品。

      光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。

      通過位于站兩側(cè)的終端隔離饋通,可以方便地連接微定位器,可以為BNCTriaxBanana插頭連接進(jìn)行定制。

      標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

      可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級(jí)定位。

      可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭,RF偏置卡盤和屏蔽罩。

       

      高分辨率復(fù)合顯微鏡。

      偏光顯微鏡。

      廣泛的相機(jī)選擇。

      射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

      拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

      超*真空泵。

      標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)化系統(tǒng)

      電動(dòng)XY夾頭,SPS-2600中的電動(dòng)壓板,SPS 2800中卡盤的電動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng),標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。

      基于步進(jìn)電機(jī),無(wú)編碼器。

      成本競(jìng)爭(zhēng)力

      強(qiáng)烈推薦用于需要低于0°C的測(cè)試或屏蔽的應(yīng)用

      可用選項(xiàng):加熱或冷卻卡盤,變焦鏡或復(fù)合顯微鏡,各種屏蔽,用于直流和射頻測(cè)量的卡盤選擇等等

      型號(hào)

      SPS-2800

      SPS-2600

      晶圓尺寸

      高達(dá)200mm

      高達(dá)100mm

      電機(jī)類型

      步進(jìn)電機(jī)

      XY舞臺(tái)行程

      高達(dá)200mmx200mm

      高達(dá)125mmx125mm

      XY舞臺(tái)分辨率

      電動(dòng),6.5μm重復(fù)性

      顯微鏡

      高品質(zhì)立體聲變焦,工作距離可達(dá)200??mm,放大倍率范圍為3.5X180X

      饋通終端

      BNCTriax或香蕉插頭

      系統(tǒng)尺寸

      122厘米寬x122厘米深x 92厘米高

      78厘米寬x80厘米深x 58厘米高

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