等離子去膠機是我們在微波等離子處理工藝中的新產品。該批次式晶圓灰化設備成本低廉、尺寸適中，特別適用于工廠、科研院所等領域。

　　等離子去膠機操作規(guī)程：

　　1、自動切割小車應經空車運轉，并選定切割速度；

　　2、使用釷、鎢電極應符合JGJ33-2001第12.7.8條規(guī)定；

　　3、高頻發(fā)生器應設有屏蔽護罩，用高頻引弧后，應立即切斷高頻電路；

　　4、應檢查并確認電源、氣源、水源無漏電、漏氣、漏水，接地或接零安全可靠；

　　5、操作人員應站在上風處操作。可從工作臺下部抽風，并宜縮小操作臺上的敞開面積；

　　6、小車、工件應放在適當位置，并應使工件和切割電路正極接通，切割工作面下應設有溶渣坑；

　　7、應根據(jù)工件材質、種類和厚度選定噴嘴孔徑，調整切割電源、氣體流量和電極的內縮量；

　　8、當空載電壓過高時，應檢查電器接地、接零和割炬手把絕緣情況，應將工作臺與地面絕緣，或在電氣控制系統(tǒng)安裝空載斷路斷電器；

　　9、操作人員必須戴好防護面罩、電焊手套、帽子、濾膜防塵口罩和隔音耳罩。不戴防護鏡的人員嚴禁直接觀察等離子弧，裸露的皮膚嚴禁接近等離子弧。

　　等離子去膠機的典型應用

　　去除光刻膠

　　晶圓打膠

　　濕法刻蝕前的晶圓清潔

　　去除SU-8

　　刻蝕鈍化層

　　失效分析中的器件開封

　　清潔和表面活化

　　化學微量分析中的低溫材料灰化

　　過濾器和濾膜的清潔